氧等離子清洗機是一種利用氧氣作為工藝氣體，通過產生等離子體來清潔和處理材料表面的設備，在低壓真空或常壓條件下，氧氣被電離形成等離子體，與材料表面發生化學反應，去除污染物并改變表面性質。

　　-等離子清洗：主要用于去除有機污染物，如PCB焊盤上的有機溶劑和硅晶圓表面的光刻膠。

　　-等離子活化：增強材料的親水性、粘接性等，適用于處理表面能低、極性差的材料。例如，氧等離子體能與材料表面反應形成羥基、羧基等活性物種。

　　-高效環保：相比傳統化學清洗方法，氧等離子清洗不使用有害化學物質，更加環保。

　　氧等離子清洗機的保養方法建議：

　　-清潔內部：定期清潔內部結構，包括清潔噴嘴、電極等部件，避免污垢積聚影響清洗效果。

　　-清潔外部：定期清潔清洗機的外部表面，避免灰塵和污垢堆積，影響設備的外觀和散熱效果。

　　-檢查電極：定期檢查清洗機的電極，確保電極表面光滑無損傷，保證清洗效果和設備穩定運行。

　　-檢查噴嘴：檢查清洗機的噴嘴是否堵塞或磨損，及時更換或清潔噴嘴，保證清洗效果和噴射均勻性。

　　-潤滑部件：定期對清洗機的活動部件進行潤滑，保證運行順暢，減少磨損。

　　-維護電路：定期檢查清洗機的電路連接是否松動，確保電路穩定，避免故障發生。

　　-定期校準：對清洗機的參數進行定期校準，確保清洗機的清洗效果和穩定性。

　　-功能測試：定期對清洗機進行功能測試，包括清洗效果、清洗時間等參數，確保設備正常工作。

　　-注意安全：使用氧等離子清洗機時，注意安全操作規程，避免發生意外事故。

　　-定期檢查清洗機的安全保護裝置，確保在緊急情況下能夠及時停機保護。

　　-如需長時間存放清洗機，應在干燥通風處存放，避免受潮或受到其他環境影響。

　　-長時間不用時，定期對清洗機進行檢查和保養，確保設備在重新啟用時能正常工作。